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等離子體滲氮結合PVD
等離子體滲氮是在真空腔室內形成等離子體并通入氮氣,氮氣擴散到工件表面。

什么是等離子體滲氮(與PVD相結合)?

       等離子體滲氮是在真空腔室內形成等離子體并通入氮氣,氮氣擴散到工件表面,這樣使得鋼材表面得到硬化(硬度不超過1000HV)、延長使用壽命和提高抗疲勞能力。匯成真空可以將這兩種表面處理技術混合使用在一臺設備中,也叫做雙重表面處理。在匯成真空生產的設備中,通過降低氣壓,大約~10-2 mbar ,減少氮氣原子的數量,以防止出現白亮層,白亮層會降低PVD涂層結合力,同時,PVD涂層進一步提高了表面硬度(可以達到7000HV),等離子滲氮結合PVD涂層通常應用在如沖孔和擠壓模具上。

       進行PVD 硬涂層之前,我們可以進行一次等離子滲氮工藝,這可以優化工具或零件的強度,而不影響基體材料的表面硬度和化學特性,等離子滲氮是一種典型的熱化學表面處理,PVD 和等離子滲氮相結合,允許使用回火和較低硬度鋼進行工具制造,由于有多種可應用的涂層類型,且能夠在 180 °C 左右的溫度進行涂層,附加的 PVD 工藝提供了很大的靈活性,組合工藝中硬化的表面層可以提供更好的支持。

等離子體滲氮結合PVD示意圖